Metall-Isolator-Metall (MIM) Dünnschichtsysteme, Herstellung, Charakterisierung, Anwendung

Projektleitung und Mitarbeiter

Aichele, J., Allmendinger, P., Benz, R., Berger, H., Büttner, J., Cemernjak, M., Drapp, B., Gärtner, B., Gauglitz, G. (Prof. Dr. rer. nat. Inst. Phys. Chemie), Hoch, J., Janders, M., Jönsson, C. (Prof. Dr. rer. nat.), Köhnle, E., Mutscheller, A., Oppermann, M., Schankula, K., Strobel, J., gemeinsam mit: Bloss, W. H. (Prof. Dr., FSW, Stuttgart), Nisch, W. (Dr., NMI, Reutlingen), Kraus, J. (Dr., Mercedes-Benz AG, Stuttgart)

Mittelgeber : NMI (BMFT); FSW (BMFT); Mercedes-Benz-AG

Forschungsbericht : 1994-1996

Tel./ Fax.:

Projektbeschreibung

Ziel der Untersuchungen ist, die Lebensdauer und Stromdichte von MIM-Dünnschichtkathoden zu erhöhen und Anwendungen für diese Systeme zu erschließen. Dazu werden spezielle Schichtherstellungsverfahren (Bekernung, ICBD, elektrolytische Nachoxidation) auf ihre Eignung zur Erzeugung von dünnen und ultradünnen, polykristallinen und epitaktischen Schichten mit möglichst planen Grenzflächen untersucht. Besonders interessieren elektrisch dichte ultradünne Aluminiumoxid-Isolatorschichten und Schichtsysteme für Dünnschicht-Solarzellen.

Für die Herstellung strukturierter MIM-Kathoden werden spezielle Ätzverfahren untersucht. Auf MIM-Basis wird ein 1 : 1 Maskierungsprojektor hergestellt.

Publikationen

Benz, R.: Untersuchung der Elektronenemissionseigenschaften von mikrostrukturierten Metall-Isolator-Metall (MIM) Dünnschichtkathoden für die parallel-projizierende Elektronenstrahl-Lithographie. Dissertation, Tübingen 1995.

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qvf-info@uni-tuebingen.de(qvf-info@uni-tuebingen.de) - Stand: 30.11.96
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